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走査型電子顕微鏡

概要
 光学顕微鏡では得られない高倍率で観察できます
◆電子線を当てて観察するので、高倍率で物体を観察することができます
◆ただし、導電性のない物体の場合、金蒸着または導電性テープによって導電性を確保した上での観察となります
◆条件が良ければ、最高20万倍までの観察ができます
 付着物等の元素分析により不良解析に威力を発揮

◆EPMA(電子線プローブマイクロアナライザ)により、観察している物体の元素分析が可能です
◆これは、異物の発生原因の特定などに有効です

◆ただし、有機物(樹脂、毛髪等)の場合は炭素と酸素のみしか観察されないため、赤外分光分析等の別の方法が有効な場合があります

主な仕様
◆機器名 日本電子(株) JSM-5300LV
◆分解能 高さ方向 0.01μm
水平方向 0.13μm
◆分解能 4.5nm(30kv,WD=8mm)
◆倍率 x15(WD=48mm)~200,000(25段)
デジタル表示、倍率自動補正装置(MAC)
内蔵倍率メモリ組み込み
◆像の種類 2次電子像、反射電子像
◆試料傾斜補正 約0~85°補正可能
◆電磁視野移動 全方位+/-10μm
◆試料寸法 10mmφx10mmh,32mmφx10mm
10mmφx10mmh,(20個入り用)
51mmφx10mmh,76mmφx10mm
◆試料交換 ステージ引出式
(材料ホルダはスライド式で脱着可能)
機器の利用について
◆連絡先 電子・有機素材研究所 電子システム科
TEL 0857-38-6200
FAX 0857-38-6210
◆機器使用料 800円/時間
◆依頼試験手数料 2800円/1試料



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