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ナノインデンテーションテスタ

概要
圧子を微小荷重で試料に押し込み、そのときの押込み深さを高分解能の変位計で連続的に測定して、試料表面の力学的特性を評価します。
主な仕様
◆メーカー (株)エリオニクス
◆型 式 ENT-1100a
◆荷重範囲 10mgf(98μN)~
 100gf(980mN)
◆押込み深さ分解能 0.4nm
◆試料サイズ(最大) φ50mm×t10mm
(試料台使用時)
◆試料加熱 max250℃に加熱可能
◆多点自動測定 最大1000点の自動測定が可能
こんなことができます
薄膜やごく表面層の硬さ、弾性率(ヤング率)を測定することができます。
機器の利用について
◆連絡先 機械素材研究所 無機材料科
TEL 0859-37-1811
FAX 0859-37-1823
◆機器使用料 600円/時間
経済産業省平成24年度地域企業立地促進等共用施設整備費補助金事業



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