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レーザーSPM複合顕微鏡

概要
光学顕微鏡・レーザー顕微鏡(LSM)・プローブ顕微鏡(SPM)を複合し、同じ視野を異なる検鏡法で観察・測定する装置です。
主な仕様
数十倍から百万倍の超ワイド領域において、ミリメートルからナノメートル(万分の1㎜)までの観察・測定を一台で実現
各種顕微鏡をシームレスに切り替えることができるため、一度、探したターゲット(観察対象)を見失うことなく観察が可能
SPMでは、三次元観察・形状測定と同時に、粘弾性や電流、電位 磁気などの物性分布評価も可能
メーカー (株)島津製作所
型 式 ナノサーチ顕微鏡 SFT-4500
装置構成 (1) 本体
島津ナノサーチ顕微鏡
SFT-4500
(100mm×100mm電動ステージ)
(2) 観察・解析ソフトウェア
顕微鏡標準付属ソフトウェア
 SPMデータ用粒子解析
 フォースカーブ解析
 SPM測定モード
  コンタクト、 ダイナミック
  位相、電流、表面電位、磁気力
(3) 制御用PC
Workstation Z440
(4) 付属品
アクティブ除振台内蔵防音エンクロージャ
こんなことができます
機械部品や電子部品のナノオーダーの観察や形状・粗さ測定
薄膜、微粒子、ナノファイバー等の観察や形状測定
部品表面の傷や異物の観察や形状測定
機器の利用について
◆連絡先 機械素材研究所 機械システム科
TEL 0859-37-1811
FAX 0859-37-1823
◆機器使用料 900円/時間
平成27年度経済産業省地域新成長産業創出促進事業費補助金



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