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形状測定顕微鏡

概要
 微細形状の凹凸観察に威力を発揮
◆製品・部品の形状を非接触に観察及び測定評価を行うことができます
◆金属材料に限らず、今まで観察評価が困難であった樹脂成型品やゴム等の微細な製品・部品・加工状態を迅速かつ高精度に評価できます
 広範囲な測定対象物に対応可能
◆高さ方向最大100mm、水平方向最大100mmまでの測定対象物に対応できます
 多彩な解析機能で評価が可能

◆3次元表示、濃淡図、形状ライン等の評価が可能です
◆3次元CADソフト(Pro Engeneering)により3次元に表示し、図面化することができます
◆計測した点郡データを3次元サーフェスソフト(RapidForm)を用いてモデリングするこができます

主な仕様
◆機器名 (株)キーエンス VK-9500
◆分解能 高さ方向 0.01μm
水平方向 0.13μm
◆最大観察倍率 3,000倍
◆測定用光源 408nmバイオレットレーザ
◆測定項目 長さ、高さ、角度、表面積、体積、
粗さ(線粗さ、面粗さ)
こんなことができます
◆測定例

テーパ状チューブの測定例3次元CADデータとの比較
プリント基板穴断面
3次元モデリング

機器の利用について
◆連絡先 機械素材研究所 計測制御科
TEL 0859-37-1811
FAX 0859-37-1823
◆機器使用料 600円/時間



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