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高精度輪郭形状測定機

概要
 微細部品の輪郭形状を高精度に測定評価
◆製品・部品の輪郭形状測定評価をサブミクロンオーダーで行うことができます
◆測定したデータを形状解析ソフトで評価、3D表示も可能

 多彩な触針で各種測定物に対応

◆深溝用、微細穴用、40°交角触針など測定対象に応じたスタイラスが使用できます


 広い測定範囲と同時に表面粗さ測定可能

◆測定範囲10mm(最大25mm)において輪郭形状測定と同時に表面粗さ測定も可能です

主な仕様
◆機器名 (株)テーラーホブソン PGI-Plus
◆分解能 0.8nm(10mm範囲)
◆真直度精度 0.06+0.037Xμm(X:測定長さ(mm))
◆X軸測定範囲 120mm
◆Z軸測定範囲 10mm(60mm触針)、
◆電磁視野移動 20mm(120mm触針)、
25mm(150mm触針)
こんなことができます
◆測定例
測定曲線形状解析結果例
機器の利用について
◆連絡先 機械素材研究所 計測制御科
TEL 0859-37-1811
FAX 0859-37-1823
◆機器使用料 400円/時間



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