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蛍光X線膜厚測定装置

概要
 めっき等の膜厚が測定できます

 半導体、機械・電子部品、プリント基板に使用されるめっき等金属薄膜の膜厚及び組成を測定できます。

 
主な仕様
◆機器名 エスアイアイナノテクノロジー(株) SFT9400
◆X線管 50kV、1mA
◆ターゲット モリブデン
◆コリメータ 0.015、0.05、0.1、0.2mm丸形
◆ステージ X220mm×Y150mm×Z150mm
機器の利用について
◆連絡先 機械素材研究所 無機材料科
TEL 0859-37-1811
FAX 0859-37-1823
◆機器使用料 400円/時間



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