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表面形状分析装置(SEM-EDX,WDX)

概要
 ミクロの形状から成分分析まで
試料の形状、表面観察や成分分析など多様な情報を得ることができます。
主な仕様
◆機器名 (株)日立サイエンスシステムズ S-3500H
◆倍率 15~300,000倍
◆分解能 3.0nm
【EDX】
◆機器名 (株)堀場製作所 EMAX 7490-H(EDX)
◆倍率 15~300,000倍
◆分解能 133eV
◆データ 紙、jpeg、bmp(メモリースティック、
コンパクトフラッシュ、SDーカード)
【WDX】
◆機器名 (株)オックスフォード・インストゥルメンツ INCAWAVE(WDX)
◆倍率 15~300,000倍
◆分解能 ±0.000014nm
◆データ 紙、jpeg、bmp(メモリースティック、
コンパクトフラッシュ、SDーカード)
機器の利用について
◆連絡先 機械素材研究所 無機材料科
TEL 0859-37-1811
FAX 0859-37-1823
◆機器使用料 1,800円/時間



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